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J-GLOBAL ID：200903043751721451

環状アルキレンカーボネートの洗気による削減方法

Inventor： ギャリー・エス・クセナク
Applicant, Patent owner： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
Agent (1)： 合田 潔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993156419
Publication number (International publication number)：1994071131
Application date： Jun. 28, 1993
Publication date： Mar. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電子回路パッケージのリソグラフィによる回路形成において生じる、環状アルキレンカーボネート現像剤または剥離剤の蒸気からプロピレンカーボネートを除去する方法を提供すること。【構成】 現像剤または剥離剤の一方または両方として使用される環状アルキレンカーボネートは蒸気圧が低く高沸点であるが、リソグラフィ工程11中に環状アルキレンカーボネートを含む蒸気が発生する。そこで、環状アルキレンカーボネートを含む空気をプロセスから取り出し、ガス・スクラバ21において水性アルカリ性液体中に通すことによって、環状アルキレンカーボネートを空気から洗気除去する。【効果】 本発明によれば、洗気済みの、環状アルキレンカーボネートを実質上含まない空気がプロセスから回収される。

Claim (excerpt)：

レジストの現像剤またはレジストの剥離剤のどちらか一方または両方に環状アルキレンカーボネートを含み、電子回路パッケージの製造中にガス状の環状アルキレンカーボネートが発生する、電子回路パッケージの製造方法であって、a.プロセスから環状アルキレンカーボネートを含む蒸気を除去するステップと、b.前記環状アルキレンカーボネートを含む蒸気を水性アルカリ性液体中に通して、そこから環状アルキレンカーボネートを洗気除去するステップと、c.環状アルキレンカーボネートを実質上含まない洗気済みの空気を回収するステップとを含む方法。

IPC (7)：

B01D 53/18 ZAB ,  B01D 53/14 ZAB ,  B01D 53/14 103 ,  B01D 53/34 120 ,  G03F 7/32 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027

FI (2)：

H01L 21/30 361 L ,  H01L 21/30 361 R