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J-GLOBAL ID：200903043752056362

有機系光学薄膜の製造法とその装置

Inventor： 平賀 隆 ,  守谷 哲郎 ,  田中 教雄
Applicant, Patent owner： 工業技術院長 ,  新技術事業団 ,  大日精化工業株式会社
Agent (2)： 西澤 利夫 (外1名) ,  西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993052102
Publication number (International publication number)：1994306181
Application date： Mar. 12, 1993
Publication date： Nov. 01, 1994
Summary：

【要約】【構成】 溶液または分散液状態の有機系光学材料を高真空容器内に噴霧して基板上に堆積させ、加熱処理する。また、必要に応じてさらに加圧処理する。【効果】 より低温度において、光学材料の熱分解をもたらすことなく微細構造制御された高品質、高機能な有機系光学薄膜が形成される。

Claim (excerpt)：

溶液または分散液状態の有機系光学材料を高真空容器内に噴霧して基板上に堆積させ、加熱処理することを特徴とする有機系光学薄膜の製造法。

IPC (3)：

C08J 5/00 ,  G02B 1/04 ,  G02F 1/35 504

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-151039
  
• 特開平2-281029
  
• 特開平4-099609