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J-GLOBAL ID：200903043777256030
2方向周期微細格子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
縣 浩介
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992355832
Publication number (International publication number)：1994186410
Application date： Dec. 18, 1992
Publication date： Jul. 08, 1994
Summary：
【要約】【目的】 縦横2方向に周期的な微細格子を製作する。【構成】 基板にホトレジスト層を設け、ホログラフィック露光法で干渉縞を焼き付け、同様の操作を干渉縞の向きを交差させて行って、ホトレジストによる格子パターンを形成し、斜方向よりイオンビームエッチングを行って図1に示すように平行した溝の底面が傾いてかつ深さが周期的に変化する微細格子を得た。
Claim (excerpt)：
交差する二方向の溝を有し、少なくとも一方向の溝の断面形が鋸歯状であり、この鋸歯状の形に沿って上記溝と交差する方向の溝が形成されていることを特徴とする2方向周期微細格子。
Patent cited by the Patent：
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