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J-GLOBAL ID：200903043780539921

表面加工用冶具及び表面加工方法

Inventor： 山口 優
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 鈴木 晴敏
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999267890
Publication number (International publication number)：2001089841
Application date： Sep. 22, 1999
Publication date： Apr. 03, 2001
Summary：

【要約】【課題】 基板に対して所定の空隙を設けた状態でマスクの周辺部を治具で固定した場合、マスクに偏った応力が加わり、マスクが歪んで平面性が損なわれ、基板の表面に対する平行度が局部的に悪くなる。この結果、表面加工の品質が損なわれるという課題がある。【解決手段】 表面加工用治具は、表面加工の対象となる表面及びその反対側の裏面を備えた基板1を保持するための保持部材2と、所定の間隙を規定するスペーサ6を介して表面加工に用いるマスク5を基板1の表面に装着する装着部材3と、基板1の裏面側に配され、表面加工中マスク5に吸引力を作用させてスペーサ6を介し基板1の表面にマスク5を圧接しておく吸引部材4とを備えている。

Claim (excerpt)：

表面加工の対象となる表面及びその反対側の裏面を備えた基板を保持するための保持部材と、所定の間隙を規定するスペーサを介して表面加工に用いるマスクを該基板の表面に装着する装着部材と、該基板の裏面側に配され、表面加工中該マスクに吸引力を作用させて該スペーサを介し該基板の表面に該マスクを圧接しておく吸引部材とを備えたことを特徴とする表面加工用冶具。

IPC (7)：

C23C 14/04 ,  B05C 3/20 ,  B05D 1/32 ,  B05D 3/10 ,  G09F 9/30 365 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/68

FI (7)：

C23C 14/04 A ,  B05C 3/20 ,  B05D 1/32 E ,  B05D 3/10 E ,  G09F 9/30 365 B ,  H01L 21/203 Z ,  H01L 21/68 P