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J-GLOBAL ID：200903043801096596

画像のアライメント補正方法

Inventor： 信太 総一 ,  栗原 正行
Applicant, Patent owner： 株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994119226
Publication number (International publication number)：1995325051
Application date： May. 31, 1994
Publication date： Dec. 12, 1995
Summary：

【要約】【目的】 2つの電位コントラスト像を精度よく、アライメント補正することができる画像のアライメント補正方法を提案する。【構成】 2つの画像の双方に4つ以上の比較対応点を設定し、この4つ以上の比較対応点の相互の位置ずれからアライメント補正量を求める。

Claim (excerpt)：

相互に近似したパターンを持つ2枚の画像を重ね合せ、これら2枚の画像の差像を求めて画像の異なる部分が有るか否かを調べる装置において、上記2枚の画像上に互に対応する4点以上の比較対応点を設定し、この4点以上の比較対応点の座標を基に位置合せのための演算処理を実行することを特徴とする画像のアライメント補正方法。

IPC (3)：

G01N 23/225 ,  G01B 15/00 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-006409
  
• 画像処理方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-091277   Applicant：シチズン時計株式会社
• 特開平3-006409