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J-GLOBAL ID:200903043810154175
ダイヤモンド発光素子
Inventor:
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
藤巻 正憲
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993112007
Publication number (International publication number):1994326355
Application date: May. 14, 1993
Publication date: Nov. 25, 1994
Summary:
【要約】【目的】 発光輝度が高く、大面積の発光領域が得られると共に、寿命が向上し、低コストのダイヤモンド発光素子を提供する。【構成】 ダイヤモンド発光素子は高配向性ダイヤモンド薄膜によりその発光部が構成されている。この高配向性ダイヤモンド薄膜は、気相合成によって形成されたダイヤモンド薄膜であって、薄膜表面積の80%以上がダイヤモンドの(100)結晶面又は(111)結晶面から構成されていると共に、隣接する(100)結晶面又は(111)結晶面の結晶面方位を表すオイラー角{α,β,γ}の差{△α,△β,△γ}が|△α|≦5°、|△β|≦10°、|△γ|≦5°を同時に満足する。
Claim (excerpt):
気相合成によって形成されたダイヤモンド薄膜であって、薄膜表面積の80%以上がダイヤモンドの(100)結晶面から構成されていると共に、隣接する(100)結晶面の結晶面方位を表すオイラー角{α,β,γ}の差{△α,△β,△γ}が|△α|≦5°、|△β|≦10°、|△γ|≦5°を同時に満足する高配向性ダイヤモンド薄膜により発光部を構成したことを特徴とするダイヤモンド発光素子。
IPC (3):
H01L 33/00
, C30B 29/04
, H05B 33/14
Patent cited by the Patent:
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