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J-GLOBAL ID：200903043815440737
試料保持装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
井内 龍二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992076900
Publication number (International publication number)：1993283513
Application date： Mar. 31, 1992
Publication date： Oct. 29, 1993
Summary：
【要約】【構成】 アルミニウム合金からなる導電体1の表面に、陽極酸化による陽極酸化被膜2が形成されている試料台30を備えている試料保持装置。【効果】 導電体1の全表面に隈無く一様な陽極酸化被膜2を形成することができ、耐電圧特性および試料吸着力を大幅に向上させることができる。
Claim (excerpt)：
表面に絶縁被膜を有する導電体によって構成された試料台に載置された試料と、前記導電体との間に直流電圧を印加することによって、前記試料台に前記試料を吸着する試料保持装置において、前記導電体がアルミニウム合金、前記絶縁膜がアルミニウム合金の陽極酸化膜で形成されていることを特徴とする試料保持装置。
IPC (4)：
H01L 21/68
, B23Q 3/15
, B25J 15/06
, H02N 13/00
