マイクロミラーユニットおよび光レベル制御機能付光スイッチング装置

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：真田有
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003142388
Publication number (International publication number)：2004347713
Application date： May. 20, 2003
Publication date： Dec. 09, 2004
Summary：

【課題】マイクロミラーユニットに関し、簡素な装置構成により、外部からの衝撃/振動による光出力パワー変動を補償するようにする。【解決手段】固定フレーム11をそなえるとともに、光を反射するマイクロミラー12と、該マイクロミラーを回転動作可能となるように、前記の固定フレームとマイクロミラーとを連結支持する支持部材16とをそなえ、支持部材16が、マイクロミラー12を回転動作させるための動作特性が互いに異なった複数の偏向部材13,14と、複数の偏向部材13,14間を連結するとともに、複数の偏向部材13,14の回転動作を独立させるための偏向部材間連結フレーム15と、をそなえるように構成する。【選択図】図3

Claim (excerpt)：

固定フレームをそなえるとともに、光を反射するマイクロミラーと、該マイクロミラーを回転動作可能となるように、前記の固定フレームとマイクロミラーとを連結支持する支持部材とをそなえ、該支持部材が、該マイクロミラーを回転動作させるための動作特性が互いに異なった複数の偏向部材と、該複数の偏向部材間を連結するとともに、該複数の偏向部材の回転動作を独立させるための偏向部材間連結フレームと、をそなえて構成されたことを特徴とする、マイクロミラーユニット。

IPC (1)：

G02B26/08

FI (1)：

G02B26/08 E

F-Term (7)：

2H041AA14 , 2H041AA15 , 2H041AA16 , 2H041AB14 , 2H041AZ02 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

ガルバノミラーの製造方法およびガルバノミラー
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-059626 Applicant：富士通株式会社, 富士通メディアデバイス株式会社
集積型ガルバノメータ走査デバイス
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-190400 Applicant：イーストマン・コダツク・カンパニー
特開平2-222915

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