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J-GLOBAL ID：200903043824844484

欠陥検出方法

Inventor： 徳田 篤洋 ,  田坂 隆弘 ,  浜地 昭夫
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 萩原 康弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995352334
Publication number (International publication number)：1997184812
Application date： Dec. 28, 1995
Publication date： Jul. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 表面欠陥の自動検査において、過検出を十分に抑制し、かつ、検出精度を向上させる。【解決手段】 搬送ラインから搬送されてくる被検査物に光を照射し、その反射光から被検査物の表面画像を得て被検査物の表面欠陥を検出するに際して、入力された表面画像に対して2次元重みつき移動平均演算を行って一次処理画像を求め、これに重みつき短時間相互相関関数演算を行って欠陥強調画像を得た後、適切な閾値で2値化して表面欠陥を検出する。

Claim (excerpt)：

被検査物の表面画像を得て、該表面画像を画像処理して前記被検査物の表面欠陥を検出する欠陥検出方法において、前記表面画像に2種類の2次元重み付き移動平均を施した2つの信号系列に対して、遅延の異なる複数の短時間相互相関関数を求め、これらの重み付き和を各画素の濃度値として構成した画像を得ることを特徴とする欠陥検出方法。

IPC (3)：

G01N 21/89 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00

FI (3)：

G01N 21/89 B ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 380