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J-GLOBAL ID：200903043835576767

走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 藤井 彰 ,  若菜 伸一
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992032424
Publication number (International publication number)：1993231859
Application date： Feb. 20, 1992
Publication date： Sep. 07, 1993
Summary：

【要約】【目的】 被測定試料表面の形状や電子の状態を測定する走査型プローブ顕微鏡に関し、同一試料の同一領域においてSTMで測定した像とAFMで測定した像が得られる走査型プローブ顕微鏡の提供を目的とする。【構成】 導電性弾性体51および導電性弾性体51の自由端に固着された導電性探針52で構成されてなるカンチレバー5と、隙間を介して対向させたカンチレバー5の吸着または離脱を遠隔制御によって行う吸着機構81がカンチレバー5の自由端側上面と対向するよう固定された探針固定腕8を有し、AFMモード時には吸着機構81から離脱させてカンチレバー5の自由端の上下動を可能にし、STMモード時にはカンチレバー5の自由端を吸着機構81に吸着するように構成する。

Claim (excerpt)：

被測定試料(2) をXYZ方向に移動させるテーブル(4) および該テーブル(4) を駆動する駆動回路(34)と、該試料(2) の上方に配設され固定端が電気的に絶縁された状態で基台(7) に固定されてなる導電性弾性体(51)、および該導電性弾性体(51)の自由端側下面に固着された導電性探針(52)で構成されてなるカンチレバー(5) と、所定の隙間を介して対向せしめた該カンチレバー(5) の吸着または離脱を遠隔制御によって行う吸着機構(81)を具え、該吸着機構(81)が該カンチレバー(5) の自由端側上面と対向するよう該基台(7) に固定された探針固定腕(8) と、AFMモード時に該カンチレバー(5) の自由端側の変位を検出して信号を出力する変位検出部(6) 、およびSTMモード時に該カンチレバー(5) に流れるトンネル電流を検出して信号を出力するトンネル電流検出部(32)を有し、AFMモード時には該吸着機構(81)から離脱させて該カンチレバー(5) 自由端の上下動を可能にすると共に、STMモード時には該カンチレバー(5) を該吸着機構(81)に吸着させることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3)：

G01B 21/30 ,  G01B 7/34 ,  H01J 37/28