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J-GLOBAL ID：200903043889958690

液晶表示基板の検査方法及び装置並びに液晶表示基板

Inventor： 丸山 重信 ,  押田 良忠 ,  佐々木 英司 ,  丹羽 進
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998208284
Publication number (International publication number)：2000039599
Application date： Jul. 23, 1998
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 TFT基板やCF基板などの液晶表示基板での検査対象パターンの寸法計測結果を可視表示できるようにする。【解決手段】 XYステージ17に搭載された液晶表示基板18を真上から照明して液晶表示基板18上の光学像を得る落射照明鏡筒1とCCDカメラ2とからなる落射照明光学系と、液晶表示基板18上に45 ゚に傾斜して照明して液晶表示基板18上の光学像を得るスリット投影光学X,Y鏡筒3,4と観測光学系X,Y鏡筒9,10とCCDカメラ11,12とからなる光切断光学系とが設けられ、これらCCDカメラ2,11,12で液晶表示基板18の切断部や配向膜,シール剤,導電パターンの光学像を液晶表示基板18上の検査座標毎に得、パソコン14でこれらを画像認識してその幅や高さなどの寸法を求め、求めたこれらの寸法と基準寸法との差分値を集計用モニタ16に可視表示させる。

Claim (excerpt)：

TFT基板やCF基板,STN基板などの液晶表示基板の製造工程において、該液晶表示基板での検査対象パターンの寸法計測結果を該検査対象パターンの基準寸法との差分値に換算し、該検査対象パターン毎に順次該差分値を経時的に表示することを特徴とする液晶表示基板の検査方法。

IPC (4)：

G02F 1/13 101 ,  G01B 11/03 ,  G01M 11/00 ,  G09F 9/00 338

FI (4)：

G02F 1/13 101 ,  G01B 11/03 H ,  G01M 11/00 T ,  G09F 9/00 338

F-Term (39)：

2F065AA03 ,  2F065AA21 ,  2F065AA24 ,  2F065AA61 ,  2F065BB02 ,  2F065CC00 ,  2F065CC21 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG02 ,  2F065HH04 ,  2F065HH05 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL03 ,  2F065LL04 ,  2F065LL28 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR08 ,  2G086EE10 ,  2H088FA02 ,  2H088FA03 ,  2H088FA06 ,  2H088FA11 ,  2H088FA25 ,  2H088FA26 ,  2H088HA01 ,  2H088HA03 ,  2H088MA16 ,  5G435AA00 ,  5G435AA17 ,  5G435BB12 ,  5G435KK00 ,  5G435KK10