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J-GLOBAL ID：200903043908209776
半導体加速度センサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤本 博光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992183493
Publication number (International publication number)：1994027136
Application date： Jul. 10, 1992
Publication date： Feb. 04, 1994
Summary：
【要約】【目的】 半導体加速度センサの製造において、ギャップ間隔の制御を容易として歩留まりを向上させ得る。【構成】 センサチップ17の深部2に形成された可撓部3と、該可撓部3に設けられた歪みセンサ4と、該可撓部3につながる作用部5に設けられた重り6とからなるセンサチップ17を有し、可撓部3、作用部5、及び、重り6との間にギャップgap1、gap2のある状態で前記センサチップ17の上部、下部に平坦なガラス基板からなるストッパー部材18A、18Bを接合した半導体加速度センサであって、前記センサチップ17と上部、下部のストッパー部材18A、18Bの接合部19にギャップgap1、gap2の間隔に相当する膜厚のアルミニウム薄膜20を形成する。
Claim (excerpt)：
チップ深部に形成された可撓部と、該可撓部に設けられた歪みセンサと、該可撓部につながる作用部に設けられた重りとからなるセンサチップを有し、可撓部、作用部、及び、重りとの間にギャップのある状態で前記センサチップの上下にストッパー部材を接合した半導体加速度センサにおいて、前記センサチップとストッパー部材の接合部にギャップの間隔に相当する膜厚の薄膜体を形成したことを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2)：
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