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J-GLOBAL ID：200903043920828350

(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜及び該薄膜を有する弾性表面波素子

Inventor： 山之内 和彦 ,  小田川 裕之 ,  小島 俊之 ,  橋間 英和 ,  小西 明男
Applicant, Patent owner： 山之内 和彦 ,  日本山村硝子株式会社
Agent (1)： 内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997285418
Publication number (International publication number)：1999116397
Application date： Oct. 17, 1997
Publication date： Apr. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】圧電性に優れた(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜及び該薄膜を有する電気機械結合性の良好な弾性表面波素子を提供する。【解決手段】結晶基板上に物理蒸着法(PVD法)で作製した(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜、及び、(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜を有することを特徴とする弾性表面波素子。

Claim (excerpt)：

結晶基板上に物理蒸着法(PVD法)で作製した(020)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜。

IPC (2)：

C30B 29/30 ,  H03H 9/25

FI (2)：

C30B 29/30 A ,  H03H 9/25 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 波長変換素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-048528   Applicant：パイオニア株式会社
• 特開平4-170396
  
• 特開昭61-163189
  
• 特開平4-170396
  
• 特開昭61-163189