Pat

J-GLOBAL ID：200903043929030741

能動的除振装置

Inventor： 涌井 伸二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999041424
Publication number (International publication number)：2000240717
Application date： Feb. 19, 1999
Publication date： Sep. 05, 2000
Summary：

【要約】【課題】 振動検出手段への電気配線を介して除振台へ振動が伝達するのを防止する。【解決手段】 除振台に駆動力を付与するアクチュエータと、除振台の振動を検出するための振動検出手段と、振動検出手段の出力をフィードバックしてアクチュエータを駆動する制御手段を備える能動的除振装置において、振動検出手段は除振台の振動を検出する振動検出ヘッドACおよびこの振動検出ヘッドの出力を電磁波の信号に変換して送信する送信手段TRと、この送信信号を受信する受信手段RCとを備え、振動検出ヘッドおよび送信手段は除振台に取り付けられ、受信手段は除振台以外の部分に取り付けられる。

Claim (excerpt)：

除振台に駆動力を付与するアクチュエータと、前記除振台の振動を検出するための振動検出手段と、前記振動検出手段の出力をフィードバックして前記アクチュエータを駆動する制御手段を備える能動的除振装置であって、前記振動検出手段は前記除振台の振動を検出する振動検出ヘッドおよびこの振動検出ヘッドの出力を電磁波の信号に変換して送信する送信手段と、この送信信号を受信する受信手段とを備え、前記振動検出ヘッドおよび送信手段は前記除振台に取り付けられ、前記受信手段は前記除振台以外の部分に取り付けられていることを特徴とする能動的除振装置。

IPC (3)：

F16F 15/02 ,  G05D 19/02 ,  H01L 21/027

FI (3)：

F16F 15/02 A ,  G05D 19/02 D ,  H01L 21/30 503 F

F-Term (12)：

3J048AA02 ,  3J048AB09 ,  3J048AB11 ,  3J048CB01 ,  3J048DA03 ,  3J048EA13 ,  5F046AA23 ,  5F046DA09 ,  5F046DA30 ,  5F046DB11 ,  5F046DB14 ,  5F046DC14