レーザ加工装置およびレーザ加工方法およびこの加工方法による光導波路の製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大岩増雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000066314
Publication number (International publication number)：2001255490
Application date： Mar. 10, 2000
Publication date： Sep. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】光源の光を孔子状に分けるとき、従来は露光マスクを用いていたので谷部の光は吸収され、これを山部に利用するということが出来ず、照射強度が光源の光強度以上には上がらずレーザ加工の加工効率が上がらなかった。【解決手段】フーリェ変換型位相ホログラム3を介して光源の光2を所定の角度に分岐する複数の光束に変換することによって、谷部の光を山部に利用出来るので光強度を高めることができる。また、光源とフーリェ変換型位相ホログラム3との間にシリンドリカルレンズ組6を挿入し、このレンズ間の距離を調整して被加工光ファイバ1の軸方向の焦点距離を調節する。これによってフーリェ変換型位相ホログラム3に入射する光強度を調節しグレーティングの孔子状の光強度分布の形を任意に調節する。

Claim (excerpt)：

光源と、この光源の光が入射され、この入射光に直交する第1の方向には集光機能を持たず、前記入射光に直交し、かつ、前記第1の方向に直交する第2の方向には焦点距離fの集光機能を有する光学素子と、前記光学素子からの光をフーリェ変換型位相ホログラムを介して格子状の光強度分布を持つ照射光を生成する光学系とを備えたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (5)：

G02B 27/09 , B23K 26/06 , G02B 5/32 , G02B 6/10 , G02B 6/16

FI (5)：

B23K 26/06 E , G02B 5/32 , G02B 6/10 C , G02B 6/16 , G02B 27/00 E

F-Term (9)：

2H049CA01 , 2H049CA05 , 2H049CA11 , 2H049CA17 , 2H050AC82 , 2H050AC84 , 2H050AD00 , 4E068CB08 , 4E068CD05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

グレーティング型光部品の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-176593 Applicant：古河電気工業株式会社
チャープ格子形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-088318 Applicant：住友電気工業株式会社
レーザ光照射光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-255072 Applicant：シャープ株式会社

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Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

IEEE Photonics Technology Letters, 1997, Vol.9 No.1, p.58-60

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