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J-GLOBAL ID：200903043943289626
共振ミラーとその製造法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992340775
Publication number (International publication number)：1994051231
Application date： Dec. 21, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：
【要約】【目的】 典型的な集積回路パッケージの寸法の程度にその寸法が小さく、かつ、エネルギ消費がほとんどなく、かつ、応答速度が速く、かつ、携帯可能型であり、かつ、移動する環境の下で使用しても特性の劣化がほとんどまたは全くない、光ビームを操縦する共振ミラーとその製造法を提供する。【構成】 基板の上側表面と全体的に同じ平面内にある偏向可能ミラーを有する、共振ミラーが開示される。前記ミラーは、少なくとも2個の支持素子により、前記上側表面に隣接して保持される。少なくとも1個の支持素子は、前記ミラーの端部からずれた位置に配置される。一直線上にある支持素子は回転軸を定める。前記回転軸のまわりに前記ミラーが振動し、それにより、一定の角度にわたって入射光が操縦される。
Claim (excerpt)：
上側表面を有する基板と、前記上側表面と全体的に同一平面内にある偏向可能ミラー素子と、前記ミラー素子を前記上側表面に隣接して保持し、かつ、回転軸を定め、かつ、少なくともその1つが前記ミラーの端部からずれた位置に配置された、少なくとも2個の支持素子と、を有する、共振ミラー。
IPC (3)：
G02B 26/10 104
, G02B 26/08
, H01S 3/101
