Pat

J-GLOBAL ID：200903043945407073

ポジ型感光性樹脂組成物

Inventor： 山岡 亜夫 ,  竹内 江津 ,  番場 敏夫 ,  竹田 敏郎
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991165320
Publication number (International publication number)：1993011451
Application date： Jul. 05, 1991
Publication date： Jan. 22, 1993
Summary：

【要約】【構成】 一般式(1),(2),(3)で示される基を有するモノマー(A),(B),(C)【化1】について、(B)と(C)の割合を(B)2〜100モル%、(C)0〜98モル%とし、かつ(A),(B),(C)を (A)/{(B)+(C)}= 0.9〜1.1 の割合で重合した重合度 2〜500のポリベンゾオキサゾール前駆体(D)に、式(4)で示されるポリアミド酸(E)、【化2】一般式(5)で示される4-(2'-ニトロフェニル)-1,4-ジヒドロピリジン化合物(F)、【化3】感光性キノンジアジド化合物(G)を(D)100重量部に対して(E)10〜200重量部、(F)0.5〜99.5重量部、(G)0.5〜99.5重量部、(F)と(G)の和が1重量部以上100重量部以下を配してなるポジ型感光性樹脂組成物。【効果】 高いコントラスト、シリコン酸化膜等の基板に対する高い密着性を有するポジ型感光性樹脂組成物が得られる。

Claim (excerpt)：

一般式(1),(2),(3)で示される基を有するモノマー(A),(B),(C)【化1】について、(B)と(C)の割合を(B)2〜100モル%、(C)0〜98モル%とし、かつ(A),(B),(C)を (A)/{(B)+(C)}= 0.9〜1.1 の割合で重合した重合度 2〜500のポリベンゾオキサゾール前駆体(D)に、式(4)で示されるポリアミド酸(E)、【化2】一般式(5)で示される4-(2'-ニトロフェニル)-1,4-ジヒドロピリジン化合物(F)、【化3】感光性キノンジアジド化合物(G)を(D)100重量部に対して(E)10〜200重量部、(F)0.5〜99.5重量部、(G)0.5〜99.5重量部、(F)と(G)の和が1重量部以上100重量部以下を配してなるポジ型感光性樹脂組成物。

IPC (7)：

G03F 7/039 501 ,  G03F 7/004 522 ,  G03F 7/004 531 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/075 521 ,  H01L 21/027