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J-GLOBAL ID：200903044019971972

微動位置決め装置

Inventor： 涌井 伸二
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992240088
Publication number (International publication number)：1994069096
Application date： Aug. 18, 1992
Publication date： Mar. 11, 1994
Summary：

【要約】【目的】 簡便な構成により、より完全な非干渉化制御を達成し、位置決め性能の向上を図る。【構成】 位置決めする剛物体と、少なくともこれを位置決め制御する運動自由度分のアクチュエータと、少なくともその運動自由度分の位置センサとを備え、前記位置センサそれぞれの出力をフィードバックして前記アクチュエータを駆動する閉ループのフィードバック装置が組み込まれた位置決め装置において、前記アクチュエータによる駆動点が互いに前記剛物体の打撃の中心に配置される。

Claim (excerpt)：

並進1自由度と回転2自由度を位置決めする平板状の基板と、前記基板を駆動するために前記基板の慣性主軸を中心とするほぼ同一円上に配置される3個のアクチュエータと、前記アクチュエータ近傍にそれぞれ配置されて前記基板の変位を計測する3個の位置センサと、前記位置センサの各出力を指令電圧と比較して偏差信号を得、前置増幅器と補償器を介して電力増幅器を励磁することにより前記アクチュエータを駆動するフィードバック装置とを備えた位置決め装置において、前記基板の質量をm、前記同一円の半径をld 、前記中心を原点として前記基板の平面内に定めた(x,y)座標のx軸およびy軸回りの前記基板の慣性モーメントを各々Jx ,Jy とし、1個のアクチュエータを座標(0,ld )に配置し、残る2つのアクチュエータを(x,y)座標の3及び4象限にx軸に対して各々ほぼ角度θd の位置に配置するとすれば、数1及び2式が同時に成立することを特徴とする微動位置決め装置。【数1】【数2】

IPC (5)：

H01L 21/027 ,  G02F 1/13 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/68 ,  H01L 41/09

FI (2)：

H01L 21/30 311 J ,  H01L 41/08 U