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J-GLOBAL ID：200903044028571766

橋かけ環式アルキル基を有する光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物、およびそれを用いたパターン形成方法

Inventor： 岩佐 繁之 ,  中野 嘉一郎 ,  長谷川 悦雄
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997116980
Publication number (International publication number)：1998073919
Application date： Jul. 14, 1994
Publication date： Mar. 17, 1998
Summary：

【要約】【目的】 波長が220nm以下の遠紫外線に使用可能な感光性樹脂組成物、およびパターン形成方法を提供する。【構成】 一般式(I)で表されるスルホニウム塩化合物よりなる光酸発生剤を含有する感光性樹脂組成物であって、R1 、R2 のうち少なくとも一つは橋かけ環式炭化水素基を有するアルキル基もしくは単環式アルキル基、残りが直鎖状、分岐状あるいは単環式アルキル基であって、R3 はβ位にオキソ基を有する単環式アルキル基もしくはβ位にオキソ基を有する橋かけ環式アルキル基であり、Y ̄は対イオンを表す。【化1】

Claim (excerpt)：

一般式(I)で表される少なくとも置換基の一つに橋かけ環式アルキル基を有するスルホニウム塩化合物よりなる光酸発生剤、および樹脂よりなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(R1 、R2 のうち少なくとも一つは橋かけ環式炭化水素基を有するアルキル基、残りが直鎖状、分岐状あるいは単環式アルキル基を表し、R3 はβ位にオキソ基を有する単環式アルキル基もしくはβ位にオキソ基を有する橋かけ環式アルキル基を表し、Y ̄は対イオンを表す。)

IPC (4)：

G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  C08L101/12

FI (5)：

G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/039 501 ,  C08L101/12 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 529

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 感光性化合物および感光性組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-233820   Applicant：日本電気株式会社
• 電子写真感光体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-048771   Applicant：キヤノン株式会社
• 橋かけ環式アルキル基を有するスルホニウム塩化合物、光酸発生剤、それを含有する感光性樹脂組成物、およびそれを用いたパターン形成方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-162244   Applicant：日本電気株式会社