半導体検査プログラムの自動供給および消去方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：京本直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995040215
Publication number (International publication number)：1996236595
Application date： Feb. 28, 1995
Publication date： Sep. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】ICの仕掛りを検査工程より以前に捉え、必要な検査プログラムを自動的に供給し、仕掛りが終了し不要検査プログラムを消去する方法を提供する。【構成】生産管理システム320と制御装置304とを矢印203で示すネットワークで、また、制御装置304と検査プログラムファイル装置302とを矢印313で、制御装置304と検査プログラム処理装置104とを矢印203で示す各ネットワーク手段により接続し、生産管理システム320から仕掛り品名321と顧客から受注した顧客仕様コード322を制御装置304に受け取ることによって、必要検査プログラムを引当て、検査プログラムファイル装置302上に該当検査プログラムが無い場合には、ファイル転送し、仕掛り終了後は、不要検査プログラムを消去する。

Claim (excerpt)：

あらかじめ拡散層配線まで形成したマスタウエハに金属配線を施して所望の回路機能をもつチップを複数個形成する拡散工程と前記チップをウエハ状態のままで検査し良不良を選別するウエハ検査工程とを含む半導体製造工程を対象とし、この検査工程で使用する半導体検査装置に適用される半導体検査プログラムの自動供給方法において、生産管理用コンピュータと前記半導体検査装置との間にあって前記半導体検査装置への前記検査プログラムの供給および消去を制御する制御手段を用いて、前記マスタウエハが前記拡散工程に投入される時点で前記マスタウエハの仕掛り品名と顧客仕様コードとロット番号とを前記生産管理用コンピュータからあらかじめ受け入れ、前記半導体検査装置の機種別情報および前記チップの生産工程情報を登録し、前記マスタウエハの検査に必要な前記検査プログラムを引き当て、前記検査プログラムの版数を確認することによってこの版数が誤りであれば正しい検査プログラムを転送させ、前記正しい検査プログラムにロット番号を対応ずけることを特徴とする半導体検査プログラムの自動供給方法。

IPC (4)：

H01L 21/66 , G01R 31/26 , G01R 31/28 , G06F 11/22 310

FI (4)：

H01L 21/66 Z , G01R 31/26 G , G06F 11/22 310 A , G01R 31/28 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

操作部制御手段の管理方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-136727 Applicant：国際電気株式会社

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