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J-GLOBAL ID:200903044063594140

連続拡散照明の方法及び装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 足立 勉
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1994519120
Publication number (International publication number):1996510053
Application date: Feb. 15, 1994
Publication date: Oct. 22, 1996
Summary:
【要約】反射性表面(10)を検査するための電子機械視覚(12)又は手動顕微鏡による検査システムに用いられる、連続した均-の拡散光環境を提供するとともに、非連続性の反射により引き起こされる表面明るさのばらつきを除去する、方法及び装置であり、対象物は、対象物の視覚検査を可能とする観察窓(20)を通して観察される。観察対象物は観察軸上光源(14,24)と、観察軸外光源(22)とで照明されるが、各光源は個別の明るさ制御で制御されるため、対象物に対して均-な拡散光環境が提供される。
Claim (excerpt):
所定の強度及び性質を有する主観察軸外光源により照明された光反射性の対象物を観察軸に沿って観察するときに、観察手段が観察手段自体を観察してしまうことを防止する方法であって、観察対象物と観察手段との間に第二の観察軸上光源を介在させるステップを含み、前記第二の観察軸上光源の強度及び性質が、対象物を照明している主観察軸外光源の所定の強度及び性質に略等しい方法。
IPC (4):
G01N 21/84 ,  G02B 21/06 ,  G03B 15/02 ,  H04N 5/225
FI (4):
G01N 21/84 E ,  G02B 21/06 ,  G03B 15/02 C ,  H04N 5/225 C
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平1-250947
  • 特開昭60-250783

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