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J-GLOBAL ID：200903044073644464

基板の回路パターンの検査装置

Inventor： 戸倉 暢史
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991321641
Publication number (International publication number)：1993157794
Application date： Dec. 05, 1991
Publication date： Jun. 25, 1993
Summary：

【要約】【目的】 観察装置で不良基板の精密な再検査を行うのに先立ち、基板に付着したごみ類を除去して、検査結果の信頼性と良品基板の歩留りの向上を図れる回路パターンの検査装置を提供する。【構成】 基板1の回路パターン2の良否を検査する第1の観察装置13と、この第1の観察装置13で検出された基板1の不良箇所の座標位置が登録されるコンピュータ16と、不良箇所を精密検査する第2の観察装置21と、上記第1の観察装置13からこの第2の観察装置21へ上記基板1を搬送するコンベヤ17と、上記不良箇所を観察するべく上記コンピュータ16の指令に基づいてこの第2の観察装置21を上記基板1に対して相対的に水平移動させる移動テーブル22,23と、上記基板1の搬送路12,17にあって、この基板1を清掃する清掃手段25とから基板の回路パターンの検査装置を構成した。

Claim (excerpt)：

基板の回路パターンの良否を検査する第1の観察装置と、この第1の観察装置で検出された基板の不良箇所の座標位置が登録されるコンピュータと、上記不良箇所を精密検査する第2の観察装置と、上記第1の観察装置からこの第2の観察装置へ上記基板を搬送するコンベヤと、上記不良箇所を観察するべく上記コンピュータの指令に基づいてこの第2の観察装置を上記基板に対して相対的に水平移動させる移動テーブルと、上記基板の搬送路にあってこの基板を清掃する清掃手段とから成ることを特徴とする基板の回路パターンの検査装置。

IPC (5)：

G01R 31/02 ,  G01N 21/88 ,  G06F 15/62 405 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/26

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭58-101489
  
• 特開昭62-093637
  
• 特開平2-013835