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J-GLOBAL ID：200903044078787697

基板搬送装置

Inventor： 橋本 一
Applicant, Patent owner： 日新電機株式会社
Agent (1)： 谷川 昌夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994068218
Publication number (International publication number)：1995283285
Application date： Apr. 06, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 高精度の基板位置決めができるとともに高速基板搬送を行える基板搬送装置を提供する。【構成】 右ネジ部331と左ネジ部332とを有し、直進往復動可能の雄ネジ棒33と、右ネジ部331に嵌装されて定位置で回動可能のボールネジナット41及び左ネジ部332に嵌装されて定位置で回動可能のボールネジナット42とを含む開閉ボールネジ機構を備え、一対の基板支持アーム1、2のうち一方をナット41に片持ち支持させ、他方をナット42に片持ち支持させ、雄ネジ棒33の往復動に連動して両ナット41、42を互いに反対方向に回すことで一対のアーム1、2を互いに反対方向に往復動させる。

Claim (excerpt)：

それぞれが一端部に基板支持部を有する一対の基板支持アームと、前記各アームをその他端部で片持ち支持するとともに一方のアームの基板支持部を基板処理空間に配置すると同時に他方のアームの基板支持部を基板搬入搬出位置に配置するように該一対のアームを互いに反対方向に往復移動させるアーム支持連動機構を備えた基板搬送装置において、前記アーム支持連動機構が、右ネジ部と左ネジ部とを有していて直進往復動可能の雄ネジ棒と、前記右ネジ部に嵌装されて定位置で回動可能のボールネジナット及び前記左ネジ部に嵌装されて定位置で回動可能のボールネジナットを含む開閉ボールネジ機構を備え、前記一対のアームのうち一方のアーム他端部が一方のボールネジナットに片持ち支持されるとともに他方のアーム他端部が他方のボールネジナットに片持ち支持されており、前記雄ネジ棒の往復動に連動して前記両ボールネジナットが互いに反対方向に回動することで該一対のアームが互いに反対方向に往復動することを特徴とする基板搬送装置。

IPC (4)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/265