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J-GLOBAL ID：200903044084845208

金属酸化物の製造方法及びガスセンサ

Inventor： 田島 基史 ,  足立 正 ,  中井 健人
Applicant, Patent owner： 株式会社クボタ ,  ホーチキ株式会社
Agent (1)： 北村 修一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999235351
Publication number (International publication number)：2001059160
Application date： Aug. 23, 1999
Publication date： Mar. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 高ガス感度が得られるガス感応性金属酸化物の製造方法及び高性能のガスセンサを提供する。【解決手段】 所定のガスに感応してその電気特性が変化するガス検知用の金属酸化物の製造方法、または、かかる金属酸化物を備えてなるガスセンサであって、電子ビーム蒸着法または抵抗加熱蒸着法により金属酸化物1の原料金属を所定の基板2上に蒸着させる工程と、ラジカルビーム源6により酸素をラジカル化して基板2上に供給する工程とを同時に実行して、基板2上に金属酸化物1を形成する。

Claim (excerpt)：

所定のガスに感応してその電気特性が変化するガス検知用の金属酸化物の製造方法であって、電子ビーム蒸着法または抵抗加熱蒸着法により前記金属酸化物の原料金属を所定の基板上に蒸着させる工程と、前記基板上に酸素をラジカル化して供給する工程とを同時に実行して、前記基板上に前記金属酸化物を形成することを特徴とする金属酸化物の製造方法。

IPC (2)：

C23C 14/24 ,  C23C 14/08

FI (2)：

C23C 14/24 M ,  C23C 14/08 D

F-Term (6)：

4K029BA47 ,  4K029BD00 ,  4K029CA04 ,  4K029CA09 ,  4K029DB18 ,  4K029DB21