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J-GLOBAL ID:200903044124362191

容量式物理量検出装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 伊藤 洋二 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999022572
Publication number (International publication number):2000221054
Application date: Jan. 29, 1999
Publication date: Aug. 11, 2000
Summary:
【要約】【課題】 サンプルホールドの周期を短くし、容量検出の精度を上げて、高精度の物理量検出が可能な容量式物理量検出装置を提供する【解決手段】 互いに逆相の矩形波P1、P2を固定電極11、13に印加することによってセンサエレメント部1から物理量に応じた電荷を出力させ、その電荷をコンデンサ22に保持して演算増幅器21からその電荷に応じた電圧を出力させ、その出力電圧を信号処理部2にてサンプルホールドして信号処理するようになっており、演算増幅器21の反転入力端子と出力端子の間にスイッチ23、24、コンデンサ25からなるリセット手段を設け、スイッチ23、24を矩形波P1、P2の反転毎にそれぞれ開閉させて、コンデンサ25に蓄積された電荷をコンデンサ22に充電するとともに、次回の充電のために演算増幅器21の出力電圧に応じた電荷をコンデンサ25に保持させるようにした。
Claim (excerpt):
少なくとも一方の容量が物理量に応じて変化し、電気的に直列に接続された第1、第2のコンデンサを有し、前記第1、第2のコンデンサの両端のノードに互いに逆相の第1、第2の矩形波が印加されるように構成されたセンサエレメント部(1)と、前記第1、第2のコンデンサの接続点に反転入力端子が接続され、非反転入力端子に第1の基準電圧源が接続された演算増幅器(21)と、前記演算増幅器の反転入力端子と出力端子の間に接続され、前記第1、第2の矩形波の反転によって生じる前記第1、第2のコンデンサの容量の差分に応じた電荷を保持する第3のコンデンサ(22)と、前記演算増幅器の出力電圧に応じた電荷を保持し、この後前記第1、第2の矩形波が反転したタイミングで前記保持した電荷を前記第3のコンデンサに充電するリセット手段(23、23’、23’’、23a、24、24’、24’’、24a、25、25a)と、前記演算増幅器の出力電圧をサンプルホールドして信号処理を行う信号処理部(3)とを備えたことを特徴とする容量式物理量検出装置。
IPC (2):
G01D 5/245 ,  G01N 27/22
FI (2):
G01D 5/245 J ,  G01N 27/22 D
F-Term (12):
2F077AA49 ,  2F077HH03 ,  2F077HH04 ,  2F077HH13 ,  2F077TT06 ,  2G060AE40 ,  2G060AF10 ,  2G060AF20 ,  2G060HA03 ,  2G060HC10 ,  2G060HC12 ,  2G060HE10
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)

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