TFT基板、それを用いた液晶表示装置及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：渡辺喜平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001200710
Publication number (International publication number)：2003017706
Application date： Jul. 02, 2001
Publication date： Jan. 17, 2003
Summary：

【要約】【課題】安定して作動するTFT基板と液晶表示装置及びその効率的な製造方法を提供する。【解決手段】基板2上に、ゲート電極4、ゲート絶縁膜6、α-Si:H(i)膜8、チャンネル保護層10、α-Si:H(n)膜12、金属アルミニウムを主成分とするソース・ドレイン電極14,15、ソース・ドレイン絶縁膜16、金属薄膜バッファー層18及び透明電極20を具備するα-SiTFT基板1。ソース・ドレイン電極14,15上に、金属バッファー膜18と透明導電膜20を成膜し、これらを同時にエッチングして金属薄膜バッファー層18と透明電極20を形成する。スルーホール22において、ソース・ドレイン電極15は、金属バッファー膜18により、直接透明導電膜20と接触しないため、電極15中のアルミニウムが酸化されず接触抵抗が高くならない。

Claim (excerpt)：

ソース・ドレイン電極と透明電極の間に絶縁層が介在し、前記絶縁層に形成されたスルーホールにより前記ソース・ドレイン電極と前記透明電極が電気的に接続されているTFT基板において、前記ソース・ドレイン電極が金属アルミニウムを主成分とし、前記スルーホールにおいて、前記ソース・ドレイン電極と前記透明電極との間に金属薄膜バッファー層を有するTFT基板。

IPC (6)：

H01L 29/786 , G02F 1/1345 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 21/28 301 , H01L 21/3205

FI (7)：

G02F 1/1345 , G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 21/28 301 Z , H01L 29/78 616 U , H01L 29/78 616 V , H01L 21/88 R

F-Term (125)：

2H092GA25 , 2H092GA27 , 2H092JA26 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JA46 , 2H092JB24 , 2H092JB33 , 2H092JB56 , 2H092KA05 , 2H092KA12 , 2H092KB04 , 2H092KB14 , 2H092KB25 , 2H092MA05 , 2H092MA07 , 2H092MA13 , 2H092MA18 , 2H092NA27 , 2H092NA29 , 4M104AA01 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB05 , 4M104BB06 , 4M104BB07 , 4M104BB08 , 4M104BB09 , 4M104BB13 , 4M104BB36 , 4M104CC01 , 4M104DD08 , 4M104DD17 , 4M104DD34 , 4M104DD36 , 4M104DD37 , 4M104DD38 , 4M104DD64 , 4M104EE08 , 4M104EE17 , 4M104EE20 , 4M104FF17 , 4M104FF22 , 4M104GG09 , 4M104GG10 , 4M104GG14 , 4M104GG20 , 5C094AA43 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA09 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094EA05 , 5C094GB10 , 5C094JA08 , 5F033HH07 , 5F033HH09 , 5F033HH13 , 5F033HH14 , 5F033HH17 , 5F033HH38 , 5F033JJ01 , 5F033JJ07 , 5F033JJ09 , 5F033JJ13 , 5F033JJ14 , 5F033JJ17 , 5F033JJ38 , 5F033KK01 , 5F033KK09 , 5F033MM05 , 5F033MM13 , 5F033NN06 , 5F033NN07 , 5F033PP15 , 5F033PP19 , 5F033PP20 , 5F033QQ08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ10 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ37 , 5F033RR06 , 5F033SS11 , 5F033VV06 , 5F033VV15 , 5F033XX32 , 5F033XX33 , 5F110AA16 , 5F110BB01 , 5F110CC07 , 5F110DD02 , 5F110EE06 , 5F110EE44 , 5F110FF03 , 5F110FF29 , 5F110FF30 , 5F110GG02 , 5F110GG15 , 5F110GG25 , 5F110GG44 , 5F110GG45 , 5F110HK06 , 5F110HK09 , 5F110HK16 , 5F110HK25 , 5F110HK32 , 5F110HK33 , 5F110HK34 , 5F110HK35 , 5F110HL02 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL07 , 5F110HL11 , 5F110HL22 , 5F110HL23 , 5F110HM18 , 5F110NN04 , 5F110NN14 , 5F110NN24 , 5F110NN35

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