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J-GLOBAL ID：200903044147668735

研磨用被加工物保持具及びこれを用いた研磨方法

Inventor： 安田 辰志 ,  松本 裕文
Applicant, Patent owner： ロデール・ニッタ株式会社
Agent (1)： 辻本 一義
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999219944
Publication number (International publication number)：2001038611
Application date： Aug. 03, 1999
Publication date： Feb. 13, 2001
Summary：

【要約】【課題】 従来よりも被加工物や研磨用被加工物保持具自体の破損を抑制することができる研磨用被加工物保持具及びこれを用いた研磨方法を提供しようとするもの。【解決手段】 この研磨用被加工物保持具は、被加工物が嵌合されるリセス孔1aが開設されたテンプレート1と、前記被加工物を保持する弾性体から成るバッキング材3とが相互に固定された研磨用被加工物保持具であって、前記リセス孔周縁の端部以外の箇所に凹部8を設けた。

Claim (excerpt)：

被加工物が嵌合されるリセス孔が開設されたテンプレートと、前記被加工物を保持する弾性体から成るバッキング材とが相互に固定された研磨用被加工物保持具であって、前記リセス孔周縁の端部以外の箇所に凹部を設けたことを特徴とする研磨用被加工物保持具。

IPC (2)：

B24B 37/04 ,  B24B 41/06

FI (2)：

B24B 37/04 E ,  B24B 41/06 L

F-Term (11)：

3C034AA13 ,  3C034AA17 ,  3C034BB75 ,  3C034DD20 ,  3C058AA07 ,  3C058AB04 ,  3C058CA01 ,  3C058CA05 ,  3C058CA06 ,  3C058CB02 ,  3C058DA17

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-138933
  
• 特開昭63-016970
  
• 特開昭61-126609