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J-GLOBAL ID：200903044242706148

光偏向子及びその製造方法

Inventor： 若園 繁博
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995245996
Publication number (International publication number)：1997090249
Application date： Sep. 25, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】簡単な構成で且つ部品点数の少ないコンパクトな光偏向子及びその製造方法を提供する。【解決手段】Al膜で形成された反射ミラー52が設けられた板状部材50と、この板状部材を振動且つ偏向自在に支持する支持手段と、この支持手段に支持された板状部材を振動且つ偏向させる駆動手段とを備えており、駆動手段には、所定のTiNi形状記憶合金薄膜と、このTiNi形状記憶合金薄膜の動作を補助するためのバイアスバネ手段とが設けられている。支持手段には、板状部材を振動且つ偏向自在に支持する一対のトーションバー60が設けられている。バイアスバネ手段には、片持ち梁66と、この片持ち梁の延出端に突設し且つ板状部材の裏面に接触可能な突起部68とが設けられている。

Claim (excerpt)：

反射手段が設けられた板状部材と、この板状部材を振動且つ偏向自在に支持する支持手段と、この支持手段に支持された前記板状部材を振動且つ偏向させる駆動手段とを備えており、前記駆動手段には、所定の形状記憶合金と、この形状記憶合金の動作を補助するためのバイアスバネ手段とが設けられていることを特徴とする光偏向子。