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J-GLOBAL ID：200903044242822750

ダイヤモンド合成装置

Inventor： 高村 文雄
Applicant, Patent owner： 新日本無線株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993053274
Publication number (International publication number)：1994247792
Application date： Feb. 19, 1993
Publication date： Sep. 06, 1994
Summary：

【要約】【目的】 より広い領域にダイヤモンド膜を生成し、しかも保守の手間がかからないダイヤモンド合成装置を提供する。【構成】 真空容器9内に配置された基板8に近接され対向する熱電子放射材2を有し、熱電子放射材2と基板ホルダー7の間に直流電圧をかける手段を有するダイヤモンド合成装置において、熱電子放射材2を加熱する手段を有し、該加熱手段の発熱する部分を覆う絶縁材3を有し、熱電子放射材2は絶縁材3に接し、上記加熱する手段は絶縁材3を介し熱電子放射材2を加熱するようにしたことを特徴とするダイヤモンド合成装置。

Claim (excerpt)：

真空容器中の基板ホルダー上に配置された基板に近接され対向する熱電子放射材を有し、原料ガス導入部より原料ガスを導入し、該熱電子放射材と上記基板ホルダーの間に直流電圧をかける手段を有し、上記基板表面にダイヤモンドを合成するダイヤモンド合成装置において、熱電子放射材を加熱する手段を有し、該加熱する手段の発熱部分を覆う絶縁材を有し、上記熱電子放射材は上記絶縁材に接し、上記加熱する手段は上記絶縁材を介し上記熱電子放射材を加熱することを特徴とするダイヤモンド合成装置。