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J-GLOBAL ID：200903044247043139

撮像式検査方法および装置

Inventor： 清水 治和
Applicant, Patent owner： 積水化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994072013
Publication number (International publication number)：1995280537
Application date： Apr. 11, 1994
Publication date： Oct. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 検査領域の広さに対して検出すべき欠陥が微小な場合の撮像式の欠陥検査が、複数種類の検査手段を必要とすることなく、簡単な構成により、高速かつ確実に、しかも面倒な焦点合わせ作業を要することなく行われるようにすること。【構成】 被検査体Wの検査領域全域に亙って低倍率にてCCDカメラ25により走査撮像し、この走査撮像による撮像情報より欠陥候補部を識別し、当該欠陥候補部の位置情報と撮像焦点位置情報とを記憶手段35に記憶し、記憶手段35に記憶されている欠陥候補部の位置情報により定義される位置を注目撮像位置とし、記憶手段35に記憶されている撮像焦点位置情報に基づいて撮像焦点位置を再現して高倍率にてCCDカメラ25により撮像し、この高倍率撮像による撮像情報より欠陥の判断を行う。

Claim (excerpt)：

被検査体の撮像情報より欠陥を検出する撮像式検査方法において、被検査体の検査領域全域に亙って低倍率にて撮像手段により走査撮像し、当該走査撮像による撮像情報より欠陥候補部を識別し、当該欠陥候補部の位置情報と撮像焦点位置情報とを記憶手段に記憶し、前記記憶手段に記憶されている欠陥候補部の位置情報により定義される位置を注目撮像位置とし、前記記憶手段に記憶されている撮像焦点位置情報に基づいて撮像焦点位置を再現して高倍率にて撮像手段により撮像し、この高倍率撮像による撮像情報より欠陥の判断を行うことを特徴とする撮像式検査方法。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/88 ,  H04N 7/18