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J-GLOBAL ID：200903044307571920

露光制御装置

Inventor： 鈴木 一明
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 大森 聡
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993035248
Publication number (International publication number)：1994252022
Application date： Feb. 24, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：

【要約】【目的】 パルス光源を用いてスリットスキャン露光方式で露光する際に、パルス光毎のパルスエネルギーのばらつきが所定の範囲を超えた場合でも、感光基板上への積算露光量を適正露光量に近づける。【構成】 スリット状の照明領域に対してレチクル及びウエハを相対的に走査して、パルス光による露光を行うと、1パルス目、2パルス目、....でのウエハ上での照度分布はそれぞれ分布26A,26B,....となる。パルス発光間に相対的に走査される量をXstepとすると、それぞれ走査方向に幅Xstepのパルス数積算領域27A,27B,....において、それぞれ次のパルス照射により与えられるべき積算露光量とそれまでの実際の積算露光量との差分を求め、これら差分の平均値を次のパルス光での露光量とする。

Claim (excerpt)：

発振の度に所定の範囲内で光量変動を伴うパルス光を発生するパルス光源と、前記パルス光で第1物体上のスリット状の照明領域を感光性の第2物体の方向に照明する照明光学系とを有し、前記スリット状の照明領域に対して相対的に前記第1物体及び前記第2物体を同期して走査することにより、前記スリット状の照明領域よりも広い前記第1物体上のパターンを前記第2物体上に露光する露光装置に備えられ、前記第2物体への前記パルス光の露光量を所定の露光量に制御する装置において、前記第1物体に照射される前記パルス光の光量を調整する光量調整手段と、前記パルス光によって前記第2物体上に照射される積算露光量を所定の再現精度で制御するために必要なパルス数、前記スリット状の照明領域に対する前記第1物体及び前記第2物体の相対的な走査速度の許容範囲及び前記所定の露光量に基づいて、前記パルス光の平均光量値及び前記光量調整手段の光量の調整度を予め決定する第1演算手段と、前記第2物体に照射された実際の積算露光量を検出する露光量計測手段と、前記第2物体上に先行して照射された前記パルス光によって前記第2物体上の異なるパルス数積算領域毎に実際に照射された個別の積算露光量と、前記平均光量値のもとで前記異なるパルス数積算領域毎に次の前記パルス光の照射により与えられるべき個別の目標積算露光量とのそれぞれの差分を算出し、該差分の平均値を以って前記光量調整手段における前記パルス光毎の光量の調整度を算出する第2演算手段とを有することを特徴とする露光制御装置。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03B 27/72 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 301 G ,  H01L 21/30 311 S