微小硬度測定法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：永井冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996016025
Publication number (International publication number)：1997210892
Application date： Jan. 31, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】圧子先端形状や材料の弾性回復の影響を受けることなく試料の微小領域や極表面の硬度を正確に測定する。【解決手段】圧子101により試料に形成された圧痕の形状を原子間顕微鏡2で三次元計測し、この三次元計測値に基づいて圧痕の実表面積をCPU3により算出する。なお、三次元計測値から得られるデータは二次元的な離散データであり、このデータから直接に実表面積を算出したり、データに基づいて等高線を求めて実表面積を算出したりする。この算出された実表面積と荷重計103によって求められる圧痕形成時の圧子101の荷重Pとに基づいて試料の硬度をCPU3により算出する。

Claim (excerpt)：

圧子で試料に形成された圧痕の形状の三次元計測値から前記圧痕の実表面積を算出し、この実表面積と圧痕形成時の圧子の押圧荷重とに基づいて前記試料の硬度を算出する演算手段を備えることを特徴とする微小硬度測定法。

FI (2)：

G01N 3/42 E , G01N 3/42 F

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

特開平2-281125
特開平3-004138
材料表面の硬度評価方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-079596 Applicant：シャープ株式会社

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Cited by examiner (2)

凹凸を有する表面の物性評価方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-070477 Applicant：日本碍子株式会社
特開昭56-073312

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