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J-GLOBAL ID：200903044346698554

顕微鏡の位置決め制御装置

Inventor： 三澤 健一
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992288471
Publication number (International publication number)：1994138395
Application date： Oct. 27, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】レボルバ、またはステージの被駆動部の位置決め精度を高めることができる装置を得ることにある。【構成】顕微鏡の鏡基本体4に、移動機構を介してステージ2が所定方向に移動自在に構成され、ステージ2に対して駆動力を与える電歪素子63を備えた顕微鏡において、ステージ2と鏡基本体4のセンサ支持部材7との相対距離を検出する静電容量形変位センサ8と、この変位センサ8で検出された相対距離ならびに電歪素子63に対して任意に設定可能な移動目標指令を与え、この移動目標指令と前記相対距離の偏差に応じて電歪素子63が駆動制御される制御回路とを具備した顕微鏡の位置決め制御装置。

Claim (excerpt)：

顕微鏡の固定部に、移動機構を介してステージまたはレボルバの被駆動部が所定方向に移動自在に構成され、前記被駆動部に対して駆動力を与える駆動源を備えた顕微鏡において、前記被駆動部と前記固定部との得られる画像の焦点位置相互距離の絶対値を検出する相対距離検出器と、この相対距離検出器で検出された相対距離ならびに前記駆動源に対して任意に設定可能な移動目標指令を与え、この移動目標指令と前記相対距離の偏差に応じて前記駆動源が駆動制御される制御回路と、を具備した顕微鏡の位置決め制御装置。