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J-GLOBAL ID：200903044354465135
光学部品の製造法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉本 修司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992114165
Publication number (International publication number)：1993288904
Application date： Apr. 06, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 液晶パネル、CCDエリアセンサー等の開口率を向上させるためのレンズパターン(光学部品)を、露光時におけるレンズ断面形状の精密なコントロールにより、再現性よく、かつ生産性よく形成することができるようにする。【構成】 感光性樹脂膜19上に多数の小レンズ4a群からなるパターンを形成する際、小レンズ4aに対応する部分の面積が異なる2種類のフォトマスク15A,15Bを使用して、2回の露光を行なう。1回目は小レンズ4aに対応する部分の面積が大きい第1フォトマスク15Aを用いて解像度良く露光し、2回目は小レンズ4aに対応する部分の面積が小さい第2フォトマスク15Bを用いて解像度悪く露光する、または2回目と1回目を入れ替える。これにより、レンズ形状をいびつにしたり、平らな部分を発生したりすることなく、所定のレンズパターンを形成できる。
Claim (excerpt)：
多数の小レンズが所定ピッチで配置されたレンズ群からなる光学部品を製造する方法において、感光性樹脂膜上にフォトマスクを介して光学部品のパターンを露光する際に、小レンズに対応する部分の配置ピッチが同一で、その部分の面積が異なる2種類のフォトマスクを用い、小レンズに対応する部分の面積が大きい方の第1フォトマスクを用いた第1の露光をする際には解像度良く露光し、小レンズに対応する部分の面積が小さい方の第2フォトマスクを用いた第2の露光をする際には解像度悪く露光し、上記第1,第2の露光のいずれか一方を先行させて両方とも行なうことを特徴とする光学部品の製造法。
IPC (2)：
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