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J-GLOBAL ID：200903044361916835
周期構造物体の欠陥検出方法および欠陥検出装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
土屋 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993307366
Publication number (International publication number)：1995140081
Application date： Nov. 12, 1993
Publication date： Jun. 02, 1995
Summary：
【要約】【構成】 周期構造物体に対応して順次得られる複数の1次元画像データの各島部分の連結状態を検出し、上記各島部分にそれぞれ対応する上記周期構造物体の各形状部分が複数種類の属性のうちのいずれの属性であるかを上記検出された連結状態に応じて判定し、上記各形状部分の特徴量をそれぞれ検出し、上記形状部分についての上記特徴量の検出値を、この形状部分の判定された属性のこれと対応する特徴量の基準値と比較する。【効果】 周期的に変化する形状の或る程度の変形や或る程度のねじれが正常範囲内であるとして許容される周期構造物体についても、必要な欠陥検出を複雑な演算を行うことなく確実に行うことができるから、信頼性の高い欠陥検出を高速で行うことができる。
Claim (excerpt)：
周期構造物体に対応して順次得られる複数の1次元画像データの各島部分の連結状態を検出することと、上記各島部分にそれぞれ対応する上記周期構造物体の各形状部分が複数種類の属性のうちのいずれの属性であるかを上記検出された連結状態に応じて判定することと、上記各形状部分の特徴量をそれぞれ検出することと、上記形状部分についての上記特徴量の検出値を、この形状部分の判定された属性のこれと対応する特徴量の基準値と比較することとを備えている周期構造物体の欠陥検出方法。
IPC (2)：
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