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J-GLOBAL ID：200903044365996264
ロツトストツカおよびロツトストツクシステム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991306309
Publication number (International publication number)：1993139510
Application date： Nov. 21, 1991
Publication date： Jun. 08, 1993
Summary：
【要約】【目的】 この発明は、例えば半導体製造で使用されるウエハを保管するロットストッカに関し、ウエハを納めたケースの搬入搬出の作業効率を高めることができるロットストッカを得ることを目的とする。【構成】 ロットストッカの本体1には、ワゴン6を挿入セットできるケース搬入出口3が設けられている。このケース搬入出口には、読み取り機9およびメカスイッチ10が設けられている。作業者7は、ウエハを納めたケース2を搭載したワゴン6をケース搬入出口3に挿入セットする。メカスイッチ10がワゴン6のセットを検知すると、制御手段が読み取り機9を駆動してケース2に設置されているICカード8の記録情報を読み取り、更新する。その後、制御手段が、本体1内のロボットを駆動してケース2を搬入する。
Claim (excerpt)：
ウエハ搬入出口が設けられた本体内に、ウエハが納められたケースを収納する収納棚と、前記ウエハ搬入出口と前記収納棚との間で前記ケースを運搬するロボットとを備えたロットストッカにおいて、複数の前記ケースを搭載し、前記ウエハ搬入出口にセットできるケース搭載台と、前記ケース搭載台の前記ケース搬入出口へのセット状態を出力する第1の検知手段と、前記第1の検知手段のセット検知信号を入力するとともに、前記ウエハ搬入出口から前記収納棚に前記ケースを運搬するように前記ロボットを制御する制御手段とを備えたことを特徴とするロットストッカ。
IPC (3)：
B65G 1/02
, B65G 1/00
, B65G 1/04
Cited by examiner (8)
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