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J-GLOBAL ID:200903044371211805
イソプロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
内山 充
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000020438
Publication number (International publication number):2001205274
Application date: Jan. 28, 2000
Publication date: Jul. 31, 2001
Summary:
【要約】【課題】半導体、液晶などの電子部品製造工場におけるイソプロピルアルコールを含む排水を、少量の酸化剤を用いて温和な条件で処理し、超純水の原水として回収することができるイソプロピルアルコール含有水の処理方法及び処理装置を提供する。【解決手段】電子部品製造工程で発生するイソプロピルアルコール含有排水を、加熱、酸化、脱気によって処理し、得られた処押水を超純水製造用水として回収することを特徴とするイソプロピルアルコール含有水の処理方法、並びに、電子部品製造工程で発生するイソプロピルアルコール含有排水を処理し、得られた処理水を超純水製造用水として回収するイソプロピルアルコール含有水の処理装置において、加熱手段、酸化手段及び真空脱気手段を有することを特徴とするイソプロピルアルコール含有水の処理装置。
Claim (excerpt):
電子部品製造工程で発生するイソプロピルアルコール含有排水を、加熱、酸化、脱気によって処理し、得られた処押水を超純水製造用水として回収することを特徴とするイソプロピルアルコール含有水の処理方法。
IPC (3):
C02F 1/58
, C02F 1/20
, C02F 1/72
FI (3):
C02F 1/58 A
, C02F 1/20 A
, C02F 1/72 Z
F-Term (24):
4D037AA13
, 4D037AB18
, 4D037BA23
, 4D037BB06
, 4D037BB09
, 4D037CA11
, 4D038AA08
, 4D038AB09
, 4D038BA02
, 4D038BA04
, 4D038BB01
, 4D038BB03
, 4D038BB16
, 4D038BB20
, 4D050AA13
, 4D050AB14
, 4D050BB09
, 4D050BC01
, 4D050BC05
, 4D050BC06
, 4D050BD02
, 4D050BD06
, 4D050CA01
, 4D050CA03
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