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J-GLOBAL ID：200903044471289496

組合せ流沈着によるナノポーラスシリカ

Inventor： ウー,ホゥイ-チュン ,  ドレジ,ジェイムス・エス ,  ブランガード,リサ・ベス ,  ラモス,テレサ ,  スミス,ダグラス・エム
Applicant, Patent owner： アライドシグナル・インコーポレイテッド
Agent (1)： 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000568112
Publication number (International publication number)：2002524848
Application date： Aug. 13, 1999
Publication date： Aug. 06, 2002
Summary：

【要約】支持体上のナノポーラス(nanopotous)誘導性コーティングを形成する方法。本方法は、以下の(i)又は(ii)i)アルコキシシラン組成物の流れ(stream)を触媒組成物を含む基剤(base)の流れと混合し、合流点において結合しない混合された組成物の流れを形成し;支持体の表面上に混合組成物の流れを即時に(immediately)沈着させて、混合組成物を水に暴露し(いずれかの順番で、又は同時に);そして、混合組成物を硬化させる、またはii)アルコキシシラン組成物の流れを水の流れと混合し、合流点において結合しない混合された組成物の流れを形成し;支持体の表面上に混合組成物の流れを即時に(immediately)沈着させて;そして、混合組成物を硬化させるのいずれかを含む。

Claim (excerpt)：

下記のA)及びB)工程からなる基体上にナノポーラス(nanoporius)な誘電性コーティングを形成する方法であって、 A)工程では、下記のi)又はii)を実施し、 i) a)アルコキシシラン組成物の流と触媒組成物を含有する塩基の流とを合体し、合流点で束縛されない合体組成物の流を形成し、そして次のb)及びc)工程をどちらかの順序で又は同時に行う、 b)直にその合体組成物の流の基体表面上への沈着、 c)その合体組成物の水への暴露、 ii)a)アルコキシシラン組成物の流と水の流とを合体し、合流点で束縛されない合体組成物の流を形成し、そして b)直にその合体組成物の流を基体の表面上に沈着させ、 B)工程では、その合体組成物を硬化させる、上記方法。

IPC (5)：

H01L 21/312 ,  C08G 77/02 ,  C08J 7/06 CFH ,  H01L 21/316 ,  C08L 83:02

FI (5)：

H01L 21/312 C ,  C08G 77/02 ,  C08J 7/06 CFH Z ,  H01L 21/316 G ,  C08L 83:02

F-Term (18)：

4F006AA42 ,  4F006AB67 ,  4F006BA05 ,  4F006DA04 ,  4J035AA01 ,  4J035AA02 ,  4J035AB02 ,  5F058AA10 ,  5F058AB10 ,  5F058AC03 ,  5F058AF04 ,  5F058AF10 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058BA20 ,  5F058BC05 ,  5F058BH01 ,  5F058BJ02