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J-GLOBAL ID：200903044502436360

ハードディスク表面検査装置

Inventor： 露木 正年 ,  松井 伸二 ,  吉田 收志
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社 ,  株式会社エフ・エフ・シー
Agent (1)： 森田 雄一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997192703
Publication number (International publication number)：1999037741
Application date： Jul. 17, 1997
Publication date： Feb. 12, 1999
Summary：

【要約】【課題】 線状に延びたまたは面状に拡がった表面の欠陥も確実に検出することを可能にする。【解決手段】 点状、線状、面状の欠陥を判定するための反射率パラメータ閾値d〜f、線状、面状の欠陥を判定するための画素数閾値s,tを、それぞれ予め設定して記憶手段9〜11,16,21に格納しておき、ハードディスク1の表面を照射して得られた画素単位の反射率パラメータcを、閾値d〜fと比較して、点状、線状、面状の欠陥画素であるか否かを判別し、線状または面状の欠陥画素である場合は、さらにその連続画素数をカウントし、その個数をそれぞれの画素数閾値s,tと比較して欠陥の有無を判定する。

Claim (excerpt)：

ハードディスク表面上方に光源とセンサを設置しておき、ハードディスクを回転させながら光源からハードディスク表面を照射してその反射光をセンサに入射させて検出し、得られた反射光を照射光と比較処理することにより画素単位で反射率パラメータを算出し、次いでその反射率パラメータを予め設定されている閾値と比較して欠陥の有無を判定するハードディスク表面検査装置において、線状の欠陥を判定するための反射率パラメータ閾値および画素数閾値を格納した記憶手段と、画素ごとに反射率パラメータを前記線状欠陥判定用の反射率パラメータ閾値と比較して、閾値を越えた場合にその画素を線状欠陥画素と判定する手段と、線状欠陥と判定された画素の位置座標を順に記憶し、線状欠陥画素が一方向に連続する線分を形成した場合にその線状欠陥画素の数をカウントする手段と、カウントされた線状欠陥画素数を画素数閾値と比較して、閾値を越えた場合にその領域を線状欠陥と判別してその判別結果を出力する手段と、を備えたことを特徴とするハードディスク表面検査装置。

IPC (3)：

G01B 11/30 ,  G01B 11/00 ,  G01N 21/88

FI (3)：

G01B 11/30 D ,  G01B 11/00 G ,  G01N 21/88 G