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J-GLOBAL ID：200903044517697446

エキシマレーザ装置の制御装置

Inventor： 伊藤 仙聡 ,  天田 芳穂
Applicant, Patent owner： 株式会社小松製作所
Agent (1)： 木村 高久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992191056
Publication number (International publication number)：1994037376
Application date： Jul. 17, 1992
Publication date： Feb. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】エキシマレーザにおけるスパイキング現象の影響を除去する。【構成】パルス発振の休止時間が計時され、つぎの連続パルスの各パルスのエネルギーが同一の大きさとなるように、計時された休止時間に基づいて各パルスに対応する放電電圧の大きさが変化される。

Claim (excerpt)：

レーザ光を所定回数連続してパルス発振させた後、所定時間パルス発振を休止させる運転を繰り返し行い、前記パルスのエネルギーが所定の大きさとなるように放電電圧を制御するエキシマレーザ装置の制御装置において、前記パルス発振の休止時間を計時し、つぎの連続パルスの各パルスのエネルギーが同一の大きさとなるように、前記計時された休止時間に基づいて各パルスに対応する放電電圧の大きさを変化させるようにしたエキシマレーザ装置の制御装置。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• エキシマレーザ制御装置及び加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-353125   Applicant：株式会社ニコン