カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いたカーボンナノチューブの低温合成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：服部雅紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000178515
Publication number (International publication number)：2001020072
Application date： Jun. 14, 2000
Publication date： Jan. 23, 2001
Summary：

【要約】【課題】触媒金属膜を用いたカーボンナノチューブの低温合成法を提供する。【解決手段】基板上に触媒金属膜を形成した後、触媒金属膜を蝕刻して分離されたナノサイズの触媒金属粒子を形成する。次いで、カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いて基板の変形温度より低温でカーボンソースガスを熱分解する熱化学気相蒸着法で分離されたナノサイズの触媒金属粒子毎にカーボンナノチューブを成長させて基板上に垂直に整列された複数個のカーボンナノチューブを形成する。

Claim (excerpt)：

基板上に触媒金属膜を形成する段階と、前記触媒金属膜を蝕刻して分離されたナノサイズの触媒金属粒子を形成する段階と、カーボンソースガス分解用触媒金属膜を用いて前記基板の変形温度より低温で前記カーボンソースガスを熱分解する熱化学気相蒸着法で前記分離されたナノサイズの触媒金属粒子毎にカーボンナノチューブを成長させて基板上に垂直に整列された複数個のカーボンナノチューブを形成する段階と、を含むことを特徴とするカーボンナノチューブの合成方法。

IPC (3)：

C23C 16/26 , B82B 3/00 , C01B 31/02 101

FI (3)：

C23C 16/26 , B82B 3/00 , C01B 31/02 101 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

グラファイトファイバーの作成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-210161 Applicant：新技術事業団, 菊地理恵, 大木芳正
特開昭49-005270

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