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J-GLOBAL ID：200903044553494365

永久帯電防止性を有するシリコンウェハーキャリヤ

Inventor： 杉江 潔 ,  沼田 貴善
Applicant, Patent owner： 帝人株式会社
Agent (1)： 前田 純博
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996008264
Publication number (International publication number)：1997194714
Application date： Jan. 22, 1996
Publication date： Jul. 29, 1997
Summary：

【要約】【課題】 永久帯電防止性に優れ、且つ金属不純物の表面への滲みだしが極めて少なく、シリコンウェハーの搬送の目的で使用した場合に支障を及ぼさない程度にまで帯電防止性能が改善された樹脂組成物からなるシリコンウェハーキャリヤを提供する。【解決手段】 熱可塑性樹脂と特定のポリエーテルエステルからなる樹脂組成物より成形されたシリコンウェハーキャリヤ。

Claim (excerpt)：

(A1)炭素数8〜20の芳香族ジカルボン酸及び/又はそのエステル、(A2)数平均分子量200〜50000のポリ(アルキレンオキシド)グリコール、及び(A3)炭素数4〜10のグリコールを重縮合して得られるポリエーテルエステル(A)5〜40重量部及び上記ポリエーテルエステル(A)以外の熱可塑性樹脂(B)95〜60重量部とからなる樹脂組成物から成形されたシリコンウェハーキャリヤにおいて、上記(A1)がパラ配向の芳香族ジカルボン酸及び/又はそのエステル(A1a)98〜70モル%及び下記式(1)【化1】[式(1)中、Ar1は炭素数6〜12の3価の芳香族基、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基又は炭素数6〜12のアリール基を表し、M+は金属イオン、テトラアルキルホスホニウムイオン又はテトラアルキルアンモニウムイオンを表す。]で表されるスルホン酸塩基で置換された芳香族ジカルボン酸及び/又はそのエステル(A1b)2〜30モル%とから実質的になり、かつ(A2)の含有量が、生成するポリエーテルエステル(A)の5〜80重量%であることを特徴とする永久帯電防止性を有するシリコンウェハーキャリヤ。

IPC (9)：

C08L 71/02 LQE ,  C08K 5/42 KGA ,  C08K 5/42 KKB ,  C08L 25/06 LEB ,  C08L 25/06 LED ,  C08L 67/00 LPF ,  C08L 69/00 LPQ ,  C08L101/00 LSY ,  H01L 21/68

FI (9)：

C08L 71/02 LQE ,  C08K 5/42 KGA ,  C08K 5/42 KKB ,  C08L 25/06 LEB ,  C08L 25/06 LED ,  C08L 67/00 LPF ,  C08L 69/00 LPQ ,  C08L101/00 LSY ,  H01L 21/68 T