Pat

J-GLOBAL ID：200903044559657665

研磨装置及び研磨方法

Inventor： 平林 英明 ,  猪野 隆生 ,  古矢 正明
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997257334
Publication number (International publication number)：1999090816
Application date： Sep. 22, 1997
Publication date： Apr. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】ウエハを均一に研磨することができる研磨装置を提供すること。【解決手段】ウエハWを保持するウエハ保持部20と、このウエハ保持部20に対向配置され、ウエハWよりも小さい面積を有する研磨布34を有する研磨布保持機構31と、ウエハ保持部20に保持されたウエハWと研磨布保持機構31に保持された研磨布34とを摺動させてウエハWの研磨を行う駆動機構22、位置決め機構33及び駆動機構36とを備えるようにした。

Claim (excerpt)：

ウエハを研磨する研磨装置において、上記ウエハを保持するウエハ保持部と、このウエハ保持部に対向配置され、上記ウエハの面積よりも小さい研磨面を有する研磨部と、上記ウエハ保持部に保持された上記ウエハと上記研磨部に設けられた研磨面とを摺動させて上記ウエハの研磨を行う駆動部とを備えていることを特徴とする研磨装置。

IPC (3)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (4)：

B24B 37/04 B ,  B24B 37/04 D ,  B24B 37/00 A ,  H01L 21/304 321 E