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J-GLOBAL ID：200903044564395490
ウェハのエッチング処理方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993035222
Publication number (International publication number)：1994252127
Application date： Feb. 24, 1993
Publication date： Sep. 09, 1994
Summary：
【要約】【目的】 エッチング能力がある間は薬液を無駄無く有効に使用でき、かつ薬液のエッチング能力が低下する前に液交換を行えるウェハのエッチング処理方法を提供する。【構成】 エッチング開始より終了までのエッチング時間と、エッチングされたウェハ膜厚とによって算出されるエッチングレートが、予め設定した、薬液のエッチング能力が低下する限界の下限エッチングレート以下になった時に、エッチング処理を停止して薬液を交換する工程を含んでなることを特徴とする。
Claim (excerpt)：
複数のウェハの各皮膜を薬液によって個々にエッチングするウェハのエッチング処理方法において、エッチング開始より終了までのエッチング時間と、エッチングされたウェハ膜厚とによって算出されるエッチングレートを各ウェハ毎に算出する工程と、前記算出したエッチングレートが、予め設定した、前記薬液のエッチング能力が低下する限界の下限エッチングレート以下になった時に、エッチング処理を停止して前記薬液を交換する工程と、を含んでなることを特徴とするウェハのエッチング処理方法。
IPC (2)：
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