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J-GLOBAL ID：200903044565112425

洗浄水製造装置

Inventor： 永井 弘 ,  池田 幸雄 ,  斉藤 孝行
Applicant, Patent owner： 株式会社荏原製作所
Agent (1)： 萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992160091
Publication number (International publication number)：1993329470
Application date： May. 28, 1992
Publication date： Dec. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】 1ヶ所の超純水製造装置からユースポイントに超純水を分配している洗浄水製造装置において、離れたユースポイントにおいても純度が極めて高い超々純水が供給されるようにし、またユースポイントからのリターン水量を最小限に抑えるようにする。【構成】 一次純水製造装置2からの純水3をサブシステム4で超純水5とし、それをサプライ管6等でユースポイント12に送り、前記ユースポイント12をリターン管15等でサブシステム4に結んでなる洗浄水製造装置において、前記サプライ管6等につながるユースポイント12の近くに超々純水製造装置8を設け、その超々純水製造装置8から2つ以上のユースポイント12にそれぞれサプライ管11をつないでなることを特徴とする洗浄水製造装置。

Claim (excerpt)：

一次純水製造装置からの純水をサブシステムで超純水とし、それをサプライ管でユースポイントに送り、前記ユースポイントをリターン管でサブシステムに結んでなる洗浄水製造装置において、前記サプライ管の末端のユースポイントの近くに超々純水製造装置を設け、その超々純水製造装置から2つ以上のユースポイントにそれぞれサプライ管をつないでなることを特徴とする洗浄水製造装置。

IPC (5)：

C02F 1/00 ,  C02F 1/28 ,  C02F 1/32 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/70

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平1-307487
  
• 特開昭63-305917
  
• 特開昭64-076726
  
• 特開平1-038186