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J-GLOBAL ID：200903044582582451
レーザ照射装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
石原 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994015230
Publication number (International publication number)：1995226559
Application date： Feb. 09, 1994
Publication date： Aug. 22, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ビームを所定の形状・大きさにした後でも均一なエネルギ強度分布を持ったレーザ光を照射する。【構成】 レーザ光源1と、レーザ光源1から出力されたレーザ光1aの位相を乱すフィルタ14及び/又は光ファイバと、レーザ光1aを小面積のビームに分解した後重ね合わせて所定の形状のビームに形成するビーム形成手段13とを備え、レーザ光1aの位相を乱すことによりビームを重ね合わせても回折格子を生じないようにした。
Claim (excerpt)：
レーザ光源と、レーザ光源から出力されたレーザ光の位相を乱す位相攪乱手段と、レーザ光を小面積のビームに分解した後重ね合わせて所定の形状のビームに形成するビーム形成手段とを備えたことを特徴とするレーザ照射装置。
IPC (2)：
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