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J-GLOBAL ID：200903044607540490

照明光学装置

Inventor： 工藤 祐司
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992211220
Publication number (International publication number)：1994061121
Application date： Aug. 07, 1992
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】σ値を変化させた際にも、常に光量損失によるスループットの低下を招くことなく、照射光の有効利用を図って効率の良く、しかもより均一に被照射面を照明すること可能とする。【構成】照明光学装置における第1オプティカルインテグレータあるいは第1集光光学系に不連続的な変倍機能を持たせた。

Claim (excerpt)：

平行光束を供給するための平行光束供給手段と、該平行光束供給手段からの光束によって複数の2次光源を形成するための第1オプティカルインテグレータと、該複数の2次光源からの光束を集光する第1集光光学系と、該第1集光光学系によって集光された複数の光束からより複数の3次光源を形成するための第2オプティカルインテグレータと、該第2オプティカルインテグレータにより形成された複数の3次光源からの光束を集光して被照射面を重畳的に照明する第2集光光学系とを有する照明光学装置において、前記第1オプティカルインテグレータは、互いに交換可能に設けられると共に互いに異なる焦点距離で設けられた複数の光学素子群を有し、前記光学素子群を別の光学素子群に交換することにより、被照射領域の大きさを一定に保ちながら、前記複数の3次光源の大きさを変化させることを特徴とする照明光学装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521