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J-GLOBAL ID：200903044623790447

円筒マグネトロンシールド構造

Inventor： ミラン ローマン カーズ ,  エイブラハム アイ ベルキンド ,  ジエイ ランダル クーリー ,  ゾルタン オーバン ,  キヤロリン ベイムラー
Applicant, Patent owner： ザ ビーオーシー グループ インコーポレイテツド
Agent (1)： 中村 稔 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992013979
Publication number (International publication number)：1993065636
Application date： Jan. 29, 1992
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：

【要約】【目的】 スパッタリングされるとき発生する好ましくないアークの発生を最小にする。【構成】 マグネトロンの一部としての回転円筒スパッタリングターゲット表面は、ある種の材料、特に絶縁物が、スパッタリングされるとき発生する好ましくないアークを防止する目的で、ターゲットの端に近接して円筒シールドを有する。二つ以上の回転ターゲットが一つのマグネトロンシステムに用いられる場合、その各々がシールドされる。ターゲットには、そこを通してターゲットスパッタリング領域が有効となるような開口部を形成するため、円筒シールドの周囲のかなりの部分を切りとった一方、ターゲットの端の領域のシールドは残されるような構造の単一の円筒シールドが配置されることが望ましい。このシールドは、スパッタリング動作の位置が選択できるように、回転可能となることが好ましい。

Claim (excerpt)：

スパッタリング材の外部表面を有する少なくとも一つの円筒構造体と、上記スパッタリング材の実質的に両終端の間の長さに沿い且つその回りの狭い円周の一部分に延びる磁場を形成し上記円筒構造体の内側に設けられた磁石とを含む真空室を有し、上記円筒構造体が上記真空室および上記磁石の両者に対して長手方向の軸を中心として回転可能であるマグネトロンにおいて、上記スパッタリング表面の各端部のセグメントを覆い所定の距離分離して配置された一対の円筒形シールドを有し、この円筒形シールドが上記円筒構造体の回転とは独立して保持されるようにしたことを特徴とするマグネトロン。

IPC (2)：

C23C 14/35 ,  H01J 37/34

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭57-145983
  
• 特開昭57-145983