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J-GLOBAL ID：200903044628302840

中空セラミックスプレート及びその製造方法

Inventor： 猪目 哲也
Applicant, Patent owner： 住友金属工業株式会社
Agent (1)： 溝上 満好 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996144091
Publication number (International publication number)：1997323256
Application date： Jun. 06, 1996
Publication date： Dec. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 ウェハーを表面加工する際におけるプレートの撓み等の、ウェハー加工精度の低下を招く剛性の低下を防止しつつ、取扱いが容易なように重量を軽減する。【解決手段】 天板部12及び底板部13と、これら両部における外周部を接続する外周壁部14とで一体的に形成され、その内部を中空と成し、その中空部16の所定位置に変形防止用の柱部材15aを介設する。

Claim (excerpt)：

天板部及び底板部と、これら両部における外周部を接続する外周壁部とで一体的に形成され、その内部を中空と成したことを特徴とする中空セラミックスプレート。

IPC (2)：

B24B 37/04 ,  H01L 21/304 321

FI (2)：

B24B 37/04 E ,  H01L 21/304 321 H