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J-GLOBAL ID：200903044701301490

反射防止膜付基板

Inventor： 三平 昭博
Applicant, Patent owner： 双葉電子工業株式会社
Agent (1)： 西村 教光
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993272172
Publication number (International publication number)：1995130307
Application date： Oct. 29, 1993
Publication date： May. 19, 1995
Summary：

【要約】【目的】アルカリ遮蔽効果と反射防止効果を兼備した反射防止膜付基板を提供する【構成】透光性の基板2上には、アルカリ遮蔽膜であるSiO2膜3と、TiO2とSiO2を有する混合膜4が積層されている。混合膜上にはAlから成る導体パターン層5がある。導体パターン層に相対する部分の前記混合膜は、熱処理により有色化されて反射防止効果を奏する。SiO2膜に接する混合膜の境界面にはSiO2膜が形成され、両膜は境界面においてよくなじむ。TiO2膜にSiO2が混合すると全体としての膨張係数はTiO2の膨張係数より低くなる。従来より膨張係数の小さい本実施例の混合膜は基板との膨張係数の違いによって剥がれにくい。混合膜はTiO2のみの膜よりも強度が高い。以上の各点から混合膜はSiO2膜に対して剥離しにくい。

Claim (excerpt)：

透光性の基板と、前記基板上に形成されたSiO2 膜と、前記SiO2 膜上に形成されたTi,W,Mo,V,Nbから選ばれた金属とSiO2 との混合膜と、前記混合膜上に形成された金属薄膜から成る導体パターン層とを有し、前記導体パターン層に相対する前記混合膜が有色化されていることを特徴とする反射防止膜付基板。

IPC (4)：

H01J 31/15 ,  H01J 17/04 ,  H01J 29/88 ,  H01J 29/89